Vakuuma karburēšana ir sagataves sildīšana vakuumā.Kad tas sasniedz temperatūru virs kritiskā punkta, tas kādu laiku paliks, degazēs un noņems oksīda plēvi un pēc tam ievadīs attīrīto karburēšanas gāzi karburēšanai un difūzijai.Vakuuma karburizācijas temperatūra ir augsta, līdz 1030 ℃, un karburizācijas ātrums ir ātrs.Karburizēto daļu virsmas aktivitāte tiek uzlabota, degazējot un deoksidējot.Sekojošais difūzijas ātrums ir pārāk liels.Karburēšana un difūzija tiek veikta atkārtoti un pārmaiņus, līdz tiek sasniegta nepieciešamā virsmas koncentrācija un dziļums.
Var kontrolēt vakuuma karburēšanas dziļumu un virsmas koncentrāciju;Tas var mainīt metāla detaļu virsmas slāņa metalurģiskās īpašības, un tā efektīvais karburēšanas dziļums ir dziļāks nekā citu metožu faktiskais karburēšanas dziļums.